上述優(yōu)點使科里奧利流量控制器也成為其他半導(dǎo)體制造工藝的有吸引力的選擇。例如，原子層沉積(ALD)同樣有需要精que控制液體前驅(qū)物的過程。
半導(dǎo)體制造的另一個關(guān)鍵過程是在將圓柱形晶錠采用機(jī)械刀片進(jìn)行切割，切成一片一片的圓盤狀，便成了晶圓。切割后需對其進(jìn)行清洗，一種新的晶圓清洗方法是使用超臨界CO2，它具有特殊的特性，可以有效清潔深溝槽和去除殘留物。超臨界CO2既不是液體也不是氣體，而科里奧利流量計非常適合這一工藝流程。
Alicat CODA系列科里奧利儀表抗干擾性強(qiáng)，對周邊的振動和干擾不敏感，這點更是為半導(dǎo)體先進(jìn)過程控制的高要求提供了有力保障。
有趣的事實: CVD作為一種非常有效的材料表而改性方法，在很多領(lǐng)域得到應(yīng)用，它提高了材料的使用壽命，節(jié)省了大量的材料，為社會帶來了顯著的經(jīng)濟(jì)效益。CVD涂層不僅用于半導(dǎo)體行業(yè)，例如，它也被用于制造薯片包裝袋，將鋁沉積在聚丙烯層上。巧合的是，Alicat科里奧利流量儀表對薯片的生產(chǎn)并不陌生，因為它也被用于調(diào)味工藝生產(chǎn)過程中。
Alicat艾里卡特CODA科里奧利系列有多種型號可供選擇，并且可提供定制服務(wù)，請即刻與我們聯(lián)系推薦適合您的CVD、ALD、超臨界CO2或其他工藝的流量計量和控制解決方案！
